전자 등급 황 6 헥사 플루오 라이드 99.999 ％

제품 분류 : 황 6 헥사 플루오 라이드

황 6 헥사 플루오 라이드 가스

화학적 공식 : SF6

순도 : 99.995% (4.5N), 99.997% (4N7), 99.999% (5N)

포장 : 10L, 15L, 40L

순 중량 : 10kg, 20kg, 50kg

주요 용도 : 전력 산업, GIS, 마그네슘 합금

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더 작은 기능 크기로 반도체 산업의 끊임없는 행진으로 전자 등급의 황 6 헥사 플루오 라이드 99.999%가 없어서는 안될 행진이 발생했습니다. 이 울타리 SF6 가스는 나노 미터 정밀도로 현미경 회로 패턴을 생성하는 플라즈마 에칭 프로세스를 가능하게합니다. 이 등급을 표준 황 6 헥사 플루오 라이드 99.997%와 구별하는 것은 예외적으로 낮은 금속 오염입니다. 일반적으로 0. 1 ppb 구리 및 철과 같은 임계 요소의 경우 1 ppb입니다.

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